周思毅最后介绍说，超透镜对于光刻技术有着极大的推进作用。

超透镜说白了和相控阵雷达很相似，都是由无数个小单元组成，经计算机处理合成成像，原理都差不多。

国内有一流的相控阵雷达（如J.20相控阵雷达、航母四面阵雷达），也将有一流的超透镜。

有了技术成熟的超透镜，国内就可以实现从第二代DUV光刻机向第四代超透镜光刻机的技术跨越。

“周院长，恭喜你们！你们这个项目取得了重大突破，是非常有意义的一件事情。

之前在EUV光刻机的研发过程中，物镜系统就是最大的拦路虎。尽管光机所已经完成了这个子项的研发，但进度也延迟了太长的时间，使得总体项目最起码拖后了两三年。”

萧白听完，也不禁感慨了一番。

物镜系统的关键是光学镜头，而这一块，国内的技术水平和国际巨头们相差较大。

尼康和佳能本身就是光学镜头的顶尖制造商，所以他们在光刻机方面曾经领先了很多年。而阿斯麦生产的光刻机，则采用了卡尔蔡司的光学镜头，在技术上也有保障。

浦东微电子设备由于进口受限，很多关键的零部件都没办法进行采购，只能寄希望于国产。

这才是国内组织多家科研院所，参与到EUV光刻机的研发过程中的主要原因。

但在超透镜方面，大家的起点是一样的。

国内目前已经基本上攻克了光刻机的光源系统和对准系统，只要有了一流的超透镜，那么在第四代光刻机这个赛道上，就不至于掉队。

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